平面靶

Planar
Target

純金屬靶材

Pure Metal

Cr、Mo、Ti、Nb、Al、Ni、W、Zr

合金靶材

Alloy

TiAl、NiCr、NiV、AZO(ZnO/Al₂O₃)、SiAl、WTi、WC、NiMo、NiCu、TiSi、CrAl、CrW、CrSi、MoCu、ZnSn、ZnAl、FeCo、FeNi

TiAlSi、TiAlCr、CrAlSi、NiWCr、CoNbZr、CoFeTaZr、NiCrAlY、

管狀靶

Rotary
Target

Cr、Mo、AZO、Si、SiAl、TiAl、NiCr、Ti、Al、ZnSn、ZnAl、Nb