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磁控濺射陰極系列產(chǎn)品
編號(hào)：
名稱(chēng)： 磁控濺射陰極系列產(chǎn)品
領(lǐng)域：
成果形式：
投資額： 萬(wàn)
案例數(shù)：
技術(shù)階段： 概念階段
合作方式：

方案詳述

  • 濺射陰極SC：

1、適用于常規(guī)放電；

2、功率密度5-20W/cm2；

3、利用率>40%；

4、有效沉積區(qū)膜厚誤差<5%；

  • 濺射陰極SC-H：

1、適用于大功率放電；

2、功率密度達(dá)200W/cm2以上；

3、沉積速率提高10-20倍；

4、離化率>70%；

  • 濺射陰極SC-Hi：

1、適用于HiPIMS放電；

2、離化率近100% ；

3、沉積速率提高4倍；

4、放電穩(wěn)定性高；


技術(shù)優(yōu)勢(shì)

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075586060912
service@xincailiao.com

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