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編號：

名稱： 無機氧化硅可控制備研究中心

領(lǐng)域： 材料科學(xué)

成果形式：

投資額： 萬

案例數(shù)：

技術(shù)階段： 概念階段

合作方式：

無機氧化硅可控制備研究中心

以氧化硅、氧化鈰為代表的納米氧化物顆粒由于其優(yōu)良的結(jié)構(gòu)、光電、化學(xué)等性能，在半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、石油化工、光催化等領(lǐng)域都具有廣泛的應(yīng)用前景。目前國際上高端納米氧化物材料的市場主要被美、德、日等國家壟斷。甬江實驗室無機氧化硅可控制備研究中心圍繞電子材料和生物醫(yī)藥材料領(lǐng)域，開展微納尺度氧化硅材料可控制備技術(shù)的基礎(chǔ)理論研究、流程設(shè)計、關(guān)鍵設(shè)備制造，致力于在電子封裝材料、5G填充材料、藥物純化、緩釋等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)應(yīng)用。

目前，中心聚焦用于芯片化學(xué)機械拋光的氧化硅磨料研發(fā)，重點研究納米氧化硅顆粒結(jié)構(gòu)對拋光效果的影響，解決納米氧化硅結(jié)構(gòu)調(diào)控及規(guī)?；苽涞募夹g(shù)瓶頸。中心的研究將突破日本Fuso在該材料95%市占率的壟斷，中心所開發(fā)的樣品已送至國內(nèi)多家半導(dǎo)體廠商展開驗證并獲得一致認(rèn)可。今年中心將完成納米氧化硅顆粒的中試放大工藝研究，并計劃與萬華、江豐等產(chǎn)業(yè)頭部企業(yè)在寧波合作成立產(chǎn)業(yè)化公司，實現(xiàn)應(yīng)用落地。

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